UV-LIGA相关论文
研制了一种可应用于6G通信系统的W波段腔体带通滤波器。与传统的直接耦合带通滤波器相比，该滤波器通过引入两个基于TE301模式的单线......
介绍了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关键，试验优选了关键制备环节的工艺参数。试验结果表明：......
考察了over-plating工艺中不同线距、线宽条件下的电沉积规律。利用数值模拟方法对图形结构轮廓和电沉积速度之间的相互影响进行了......
从行波管工作的物理特性提出了一种获得折叠波导慢波结构参数的简单方法,给定工作频率和电压,能够获得折叠波导慢波结构的初始参数......
随着我国人口老龄化进程的加快,人民平均寿命的延长,空巢家庭的增多,老年人的身心健康受到社会各界和政府的关注。由于身体机能的......
太赫兹波是指频率在0.110THz(波长为3mm30μm)范围内的电磁波(简称太赫兹),它具有很多独特的性质:太赫兹波的波长短,空间分辨率很......
学位
在众多影响UV-LIGA(Ultra-violet lithography Galvanik abformung)技术制备微细金属零件尺寸精度的因素中,SU-8胶溶胀性是最主要......
为了正确设计220GHz折叠波导行波管,必须先进行220GHz折叠波导行波管慢波结构的损耗研究。通过软件仿真和样品冷测,确定该慢波结构......
本文提出了一种新的共轭齿廓设计的方法,通过使用偏差函数在原始节曲线的基础上重新形成新的曲线。这种方法可适合任何形状的节曲......
微夹钳是MEMS应用领域的一个重要执行器件，用于完成微小目标的夹持、移动和组装等动作，在微装配、微操作等方面具有重要的作用。本文......
SU-8是一种负性近紫外厚光刻胶,它光敏性好,深宽比大,侧壁陡直,抗腐蚀,适用于微机电系统,UV-LIGA和其他厚膜超厚膜应用.该论文研究......
研究工作的主要内容分以下几部分:(1)基于SU-8胶的UV-LIGA技术研究:◆SU-8胶的光刻技术研究 该文从SU-8胶与基底的浸润性、基底表......
设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小、便于集成。用A......
Complex microstructure fabrication by integrating silicon anisotropic etching and UV-LIGA technology
A fabrication method which integrates silicon anisotropic etching micromachining with UV-LIGA technology to make complex......
真空电子器件的频率越来越高,作为核心部件的折叠波导慢波结构由于具有独特的优点,在真空器件中必将得到广泛的应用。由于真空器件......
针对接近式紫外光刻图形转移中的曝光形状失真问题,基于补偿思想,应用遗传算法,在引起衍射的掩模特征处,通过调整其形状,实现了光......
提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中,两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上,分别作为驱动元件与敏感元件。详细......
以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块。首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面......
真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作......
研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层，采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层，利用二氟化氙（XeF2）干法腐蚀对材料......
利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm.深宽比为6、开孔率高达93%的金属铢网板模具。该网板具有面积大、......
UV—LIGA技术在制备多层复杂微结构时存在如何确保多层套刻对准精度，尺寸控制精度及层间良好结合的问题。该文对这些问题进行了分析......
针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差，采用UV—LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁，这样即可测量大变形薄膜的力学性......
为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状，采用紫外（UV）-LIGA技术和激光焊接的方法，初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用......
为提高微机电系统（MEMS）万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机......
SU-8负性光刻胶可通过UV-LIGA技术得到高深宽比微结构，是微机械系统（MEMS）制造中极具前景的一种技术。目前已有对于SU-8微结构的线宽......
SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究，在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上，利用AN-SYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析。通......
In this paper,we report the study of the process of fabricating a multi-layermetal micro-structure using UV-LIGA overlay......
SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构。为电铸造出金属微结构，通常需要采用金属......
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450 μm.制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一......
准LIGA加工工艺通常、能加工单层准三维体.本研究采用SU-8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三......
针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉......
随着太赫兹（THZ）技术的发展，真空电子器件越来越小型化，作为核心部件的折叠波导由于具有独特的优点，在高频结构中必将得到广泛的应用。......
本文详细阐述了一种微型电磁继电器的设计和初步研制过程.该微继电器主要由电极、悬臂梁结结构和电磁线圈组成.设计过程中考虑了微......
近几年来微型机电系统（ＭＥＭＳ）的研究到了高速的发展，而ＭＥＭＳ的工艺基础是微细加工技术。针对电铸（ＬＩＧＡ）技术所存在的缺点提出了紫外光电铸（ＵＶ－ＬＩＧＡ）技术，并研制了......
光栅在通信、光存储及光谱分析领域具有广泛的应用。对超声辅助UV-LIGA技术制备光栅的可行性进行了试验研究。试验中两次利用超声......
基于微纳米加工技术，设计一种可降解的植入式药物控释微载体，介绍利用紫外光刻（UV—LIGA）技术制备该类微载体的工艺。用聚羟基丙酸乙酸......
设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小、便于......
为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分......
为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化......
在分析微细电铸的电场与流场特性的基础上,深入研究了铸层厚度的不均匀现象及搅拌方式和电流密度对微细电铸质量的影响。由于高深......
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晶圆测试作为半导体制造工业中很重要的一个环节,其不仅可以检查晶圆厂的制造缺陷和良品率,还能避免后续封装浪费。晶圆测试中所用......
双频段波导带通滤波器作为双频甚至多频无线通信系统中一个负责过滤信号的关键无源器件,如何提高其频率选择特性,实现其体积微型化......
SU-8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶,它具有良好的光敏性和高深宽比,适合于微机电系统,UV-LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2].介绍......
高开孔率、大厚度金属精细网板的制造是网板业界的技术难题。分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,并提出采用基于SU-8光刻......
真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作......
随着微机电系统技术的不断发展,MEMS器件在一些工业领域逐渐得到应用。MEMS惯性开关作为一种惯性冲击检测传感器在航空、航天、运......
MEMS(微机电系统)技术在引信领域的应用,改变了引信设计者的传统设计思想,加速了引信向微型化、智能化、集成化方向的发展。MEMS引......
